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認(rèn)識(shí)智能烤膠機(jī)

2023年12月19日 14:16 來源:深圳市博大精科生物科技有限公司
光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不可少的工序,為增長(zhǎng)膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。

智能烤膠機(jī)采用智能的控溫技術(shù),控溫精準(zhǔn)均勻,加熱快速高效,維修簡(jiǎn)單方便,用于實(shí)驗(yàn)室或者批量生產(chǎn)前期的預(yù)處理??稍诠饪坦に囍械耐磕z后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅(jiān)膜,磨片粘片熔臘等,它采用整體鑄造,加熱板作為加熱體,增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。適用于各種控溫精度高,加熱均勻性要求高的實(shí)驗(yàn)室。

該產(chǎn)品在升溫時(shí),溫度越高,和環(huán)境溫差越大,其自然散熱就越快,所以隨著溫度的升高,其升溫速度是自然下降的。相反,在冷卻時(shí),溫度越高,冷卻速度越快。

本公司提供的HMS-901ASP智能烤膠機(jī)的優(yōu)勢(shì):

1、增強(qiáng)紅外線加熱技術(shù);

2、具有真空負(fù)壓功能,表面設(shè)有若干吸附孔,可使被加熱材料與表面緊密貼合,從而達(dá)到受熱均勻效果;

3、帶有加熱保溫蓋,溫度可設(shè)置,整個(gè)加熱區(qū)形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;

4、自動(dòng)進(jìn)氣功能;

5、過溫保護(hù)功能、超溫報(bào)警功能,計(jì)時(shí)功能,實(shí)驗(yàn)更安全、方便!

 


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