一、設(shè)備簡介

該真空箱式爐系列用于在1100℃下半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)等工藝，也可用于產(chǎn)品的炭化試驗。該爐采用電阻絲加熱，PID程序控溫儀控制，溫控儀可設(shè)定30 段升溫曲線、PID控制參數(shù)自整定、并具有斷偶、超溫報警保護等功能。爐體采超輕質(zhì)高鋁纖維材料，具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點，設(shè)備可根據(jù)真空度的需要分別選用機械泵或其他真空機組，非常適合于試驗和小批量生產(chǎn)之用。

該設(shè)備為密封式加熱腔體,確保設(shè)備可在真空條件下,或者一些特殊氣氛條件下使用，相比普通箱式爐，使用環(huán)境更靈活，使用范圍更廣泛。

二、技術(shù)參數(shù)