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混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

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  • 2024-06-18 09:00

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產(chǎn)品詳細(xì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 混氣系統(tǒng) 2 路質(zhì)子 GSL-2Z 是用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐， 這種氣體控 制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi)， 管式爐可以放在移動(dòng)架上面， 氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的 調(diào)節(jié)閥，可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐，用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種 材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用， 廣泛應(yīng) 用于電子工藝設(shè)備， 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及 其它分析儀器。


產(chǎn)品型號(hào)

混氣系統(tǒng) 2 路質(zhì)子 GSL-2Z

主要特點(diǎn)

精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。

技術(shù)參數(shù)

1、電源： 185-245V    50Hz


2、輸出功率： 18W


3、控制范圍： 控制器 1——1-199SCCM 、控制器 2——1-499SCCM


4、壓力： 3×106 Pa


5、準(zhǔn)確度：± 1%FS


6、線性：±0.5-1.5%


7、重復(fù)精度：±0.2%FS


8、響應(yīng)時(shí)間： 氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼


9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa





10、壓力表測(cè)量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）


11、混氣罐： ?80mm×120mm


12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥


13、工作溫度： 5-45℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 600mm×600mm×650mm


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