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VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒爐
(V2MS17)技術(shù)方案書
一、 主要用途
VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒爐為氣體保護(hù)多用途爐,可滿足在還原氣體或成型氣體氣氛中對藍(lán)寶石退火,還原、燒結(jié)和表面處理等工藝需要,廣泛應(yīng)用于航空航天、金屬材料、粉末冶金、陶瓷產(chǎn)品、半導(dǎo)體器件、厚膜電路、磁性材料等領(lǐng)域。
1. 用于晶片的還原氣氛下保護(hù)燒結(jié);
2. 用于一些難熔金屬在還原氣氛保護(hù)下燒結(jié);
3. 用于在真空高溫環(huán)境中有蒸發(fā)的材料釬焊;
4. 用于粉末材料還原燒結(jié)成型;
5. 可滿足藍(lán)寶石退火需要。
(設(shè)備圖示,以實際出貨產(chǎn)品為準(zhǔn))
二、 主要特點
1. 具備完善的報警功能,更的安全連鎖保護(hù)系統(tǒng);
2. 完善的氣氛控制系統(tǒng),滿足各種工藝需要;
3. 高性能優(yōu)質(zhì)電氣元件保證設(shè)備長期運行的穩(wěn)定可靠性;
4. 低負(fù)荷加熱器,可有效提高設(shè)備的使用壽命;
三、 設(shè)備型號
本設(shè)備為臥式周期式真空氣氛爐,型號為VHSms-20/20/30-1700(V2MS17),其具體代碼含義如下圖所示。
四、 主要技術(shù)參數(shù)
1. 額定加熱功率: 9KW(以實際為準(zhǔn))
2. 最高溫度: 1700℃(設(shè)計溫度)
3. 長期工作溫度: 1600℃(驗收溫度)
4. 加熱元件: 硅鉬棒
5. 控溫精度: 充氣時±2℃;穩(wěn)定時±1℃
6. 爐膛尺寸: 200×200×300mm(W×H×D)
7. 冷態(tài)極限真空度: 6.7X10-1Pa(空爐并經(jīng)凈化)
8. 測溫傳感器: B型熱電偶
9. 冷卻方式: 充氣自然冷卻
10. 保護(hù)氣氛: 氮氣或氬氣,一路氣氛
11. 氣氛壓力: ≤0.02MPa(微正壓、表壓)
12. 混氣系統(tǒng): 1通道浮子流量計供氣系,浮子流量計(0-10L/min)
13. 控制方式: 手動/自動自由切換
設(shè)計和制造采用的主要標(biāo)準(zhǔn)如下:
1. GB6654-1996 壓力容器的鋼性選用
2. GB10067.1-88 電熱設(shè)備的基本技術(shù)條件
3. GB5959.1-88 電熱設(shè)備的安全
4. GB10066.1-88 電熱設(shè)備的試驗方法
其它有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)參照工業(yè)爐設(shè)計手冊。
六、 結(jié)構(gòu)組成
本設(shè)備由爐體、爐門、加熱與保溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、溫度及電氣控制系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等組成。
1. 爐體
爐體側(cè)部設(shè)有真空抽氣口、熱電偶測溫口、進(jìn)出水口、電極口等。爐體上下壓頭的密封采用可靠的金屬波紋管密封。
附屬品:
1) 真空接管
2) 電極引入接管
3) 熱電偶引入接管
4) 真空測量及真空指示接管
5) 冷卻水接管
6) 爐腿
2. 爐門
爐門采用雙層水冷結(jié)構(gòu),內(nèi)外壁均為304不銹鋼經(jīng)精密拋光處理,內(nèi)外壁之間通水冷卻,爐門側(cè)部設(shè)有進(jìn)出水口等。
3. 加熱與保溫系統(tǒng)
爐襯采用復(fù)合爐襯,內(nèi)側(cè)耐火爐襯選用多孔氧化鋁砌筑,外層選用氧化鋁纖維板及硅酸鋁纖維棉組成復(fù)合保溫爐襯,合理的卡槽式拼裝結(jié)構(gòu),能有效保證爐膛的牢固性、溫度的損耗;合理的加熱器對輻射排布及功率的分布都有效的保證溫場的均勻度,此種結(jié)構(gòu)保溫效果好,爐墻使用壽命長。
加熱系統(tǒng)由電力控制器、電極、發(fā)熱體、熱電偶等組成。
(1)加熱功率及分布
采用單區(qū)加熱控溫,安裝一支控制熱電偶,加熱爐的發(fā)熱體采用硅鉬棒,發(fā)熱元件均勻布置于爐膛兩側(cè),有效的保證了溫場的均勻性提高加熱系統(tǒng)的可靠性,安全性。
(2)測溫裝置
測溫元件采用B型熱電偶配合溫度控制儀進(jìn)行溫度閉環(huán)控制,測溫元件測量溫度并供給溫度控制器控制信號,從而調(diào)整功率調(diào)控器的輸出,從而控制變壓器的輸出大小,以滿足系統(tǒng)的控溫需求。此外,在保溫屏外側(cè),設(shè)有監(jiān)測熱電偶,當(dāng)系統(tǒng)超溫時,通過控制系統(tǒng)及時切斷加熱電源,確保設(shè)備安全。
4. 真空系統(tǒng)
真空閥門設(shè)掉電保護(hù)和安全聯(lián)鎖,如設(shè)備突然斷電,真空系統(tǒng)的各系統(tǒng)閥門自動調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài),保護(hù)真空室。
所有真空管路均采用不銹鋼或碳鋼電鍍制造。管路連接處采用金屬波紋管連接,以隔絕直聯(lián)泵的震動,防止將震動傳遞至真空加熱室系統(tǒng)。
5. 氣路系統(tǒng)
氣體系統(tǒng)主要完成運氣、排氣等動作。氣路控制均采用安全電磁閥、手動針閥控制,采用電子式數(shù)顯壓力表,對爐膛壓力能時時監(jiān)控,當(dāng)?shù)竭_(dá)壓力會自動關(guān)閉進(jìn)氣管上的電磁閥,并進(jìn)行報警,使用安全性更高。氣體系統(tǒng)增加故障時自動放氣和手動放氣的選擇功能,解決用戶特殊情況下的斷電排氣問題。
集成式的氣路、電路控制面板,讓客戶操作更加方便;所有進(jìn)氣口全部經(jīng)過短暫預(yù)熱直接進(jìn)入爐膛使用區(qū)域,以便保護(hù)氣氛能最快、全面的接觸工件(可以通氬氣、氮氣等惰性氣體);爐體后部有二路進(jìn)氣口,右側(cè)有二路排氣口(排放氣體密度大于空氣密度的保護(hù)氣氛氣體、也可作為緊急時破除真空用接口)。
本設(shè)備壓力系統(tǒng)由氣源裝置(氣瓶用戶自備)、閥門站、控制氣路、超高壓管路等組成。其作用是根據(jù)工藝要求,向工作缸提供高壓氣體。
6. 水冷系統(tǒng)
系統(tǒng)由集成式進(jìn)水組件(不銹鋼管)、集成式回水組件(不銹鋼管)、球閥、優(yōu)質(zhì)橡膠管及接頭等組成。回水方式采用封閉式,在關(guān)鍵回路如電極上設(shè)置了水溫水流量傳感器,水溫過高或水流量不足時及時報警并停止加熱。
進(jìn)水主管路上設(shè)有電接點壓力表,當(dāng)水壓不足時提供信號給控制系統(tǒng),然后由控制系統(tǒng)判斷報警,啟動備用水源系統(tǒng)或切斷電源。設(shè)備的備用水裝置由客戶自備,備用水流量≥5m3/h。
水路特點:
1) 所有水路管道均采用耐高溫、高壓軟管材質(zhì),確保不生銹;其他輔助水路管道采用高壓防爆管道。確保水路安全;
2) 關(guān)鍵管路設(shè)置有水流量傳感器和水溫傳感器和報警裝置,水流量過低報警,水超溫報警,及時發(fā)現(xiàn)安全隱患。進(jìn)水路欠水壓與加熱PLC互鎖,水壓低時,報警并停止加熱。
3) 使用方須做好備用水源及UPS電源。主電路停電可立即切換至UPS電源,給水泵供電,冷卻水源循環(huán),確保爐體安全。
由氣動三聯(lián)件(除水器、壓力表、油霧器)、電磁換向閥,管道和產(chǎn)氣量為0.6m3/min的空壓機(可選配)等組成??蓪鈩訄?zhí)行元件(如氣缸、充氣閥、真空閥門等)提供潔凈的壓縮空氣,確保氣動原件運行穩(wěn)定可靠,管路走向整潔美觀。
8. 溫度及電氣控制系統(tǒng)
電氣控制系統(tǒng):全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),可以手動、自動切換。
電源控制系統(tǒng)軟件介紹: 有以下特點:
1) 源控制具有手動和自動兩種控制方式,手動和自動都可以在觸摸屏上控制,操作方便、系統(tǒng)穩(wěn)定,具有誤操作提示報警功能。
2) 溫控系統(tǒng):全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),可以手動、自動切換,采用熱電偶和控溫儀表控制電源的輸出從而控制模具的溫度,觸摸電腦自動記錄燒結(jié)過程及歷史曲線。配備 PLC 控制器(西門子/歐姆龍),具有 PID 及超溫報警功能,能儲存和輸出記錄,清晰反應(yīng)爐子工作狀況。
3) 控制系統(tǒng)軟件由我公司自行開發(fā),人機界面操作系統(tǒng),畫面友好,操作簡單,響應(yīng)速度快,可對爐內(nèi)工況進(jìn)行實時監(jiān)測,系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。
4) 本設(shè)備可自動采集溫度曲線、真空度曲線和燒結(jié)時間等曲線,對各個工藝參數(shù)(溫度、真空度)實現(xiàn)動態(tài)顯示,方便用戶根據(jù)歷史曲線分析燒結(jié)工藝。
5) 通訊接口豐富,如 RS485、LAN、USB 等,易于和其它設(shè)備 組網(wǎng)應(yīng)用。軟件控制界面形象化,能夠動態(tài)顯示工作流程,方便直觀。
6) 控制系統(tǒng)上設(shè)有過流、超溫及斷水等分類報警功能,電器元件采用施耐德、 LG等品牌,產(chǎn)品品質(zhì)有保證。電控柜按照西門子標(biāo)準(zhǔn)制作,所有的儀表及控制元件集中到一個電控柜內(nèi)。
7) 軟件免費升級。
溫度的控制也可通過數(shù)顯溫度程序控制儀根據(jù)用戶設(shè)定的工藝曲線,實行自動控制溫度,并具有PID自整定功能,也可根據(jù)用戶需要手動控制溫度。
1. 電氣聯(lián)鎖保護(hù)系統(tǒng);
2. 保險絲;
3. 電熱過電流保護(hù)裝置。
九、 整機要求
1. 電力需求: 220V/380V,三相五線制,12KVA,50Hz
2. 起重設(shè)備: >1.2噸
3. 壓縮空氣氣源:
1) 耗量: ~3L/s
2) 壓力: ≥0.6Mpa
4. 水源:
1) 耗量: >10m3/h
2) 水壓: 0.15~0.3Mpa
3) 進(jìn)水水溫: ≤25℃
4) 水質(zhì): PH值7.0~8.5,懸浮物固體<100mg/L,總硬度CaO<10mg當(dāng)量/L,溶解性固體<30mg/L,電導(dǎo)率<500μS/cm;及總排水管與設(shè)備的連接管路和閥門;
十、 安裝、調(diào)試及驗收
1. 甲方負(fù)責(zé)地基、氣源、乙方電控柜的總線輸入端之前的進(jìn)線電纜。在所有準(zhǔn)備工作完成后,通知乙方進(jìn)行安裝、調(diào)試。設(shè)備以賣方組織,買方配合的方式在買方現(xiàn)場安裝、調(diào)試并達(dá)到買方正常使用的要求;
2. 驗收工作完成后,由雙方共同簽署設(shè)備最終驗收報告。
十一、 培訓(xùn)
1. 設(shè)備安裝調(diào)試過程中,賣方同時對買方設(shè)備使用人員進(jìn)行必要的操作和維護(hù)保養(yǎng)的培訓(xùn)。經(jīng)培訓(xùn),用戶技術(shù)人員能夠達(dá)到獨立正確操作設(shè)備并能判斷故障及簡單維修。
2. 培訓(xùn)計劃和內(nèi)容:
序號 | 培訓(xùn)計劃 | 培訓(xùn)時間(天) | 培訓(xùn)人員 | 地點 |
1 | 操作培訓(xùn) | 1 | 工程師1人 | 驗收現(xiàn)場 |
2 | 維護(hù)保養(yǎng)培訓(xùn) | 驗收現(xiàn)場 | ||
3 | 故障判斷及簡單維修培訓(xùn) | 驗收現(xiàn)場 |
十二、 保固期
機器全系統(tǒng)保固壹年。
十三、 售后
保固期內(nèi),若設(shè)備發(fā)生故障(易損件除外),我公司在2小時內(nèi)給予回復(fù),并在72小時內(nèi)派員到達(dá)現(xiàn)場,組織維修。
長期優(yōu)惠提供備品備件。
十四、 隨機資料
1. 操作說明書。
2. 出廠檢驗報告。
3. 安裝調(diào)試必需的圖紙。
十五、 客戶選配配件
1. 冷水機HCA-10 1臺
2. 水路管道及法蘭: 1套
3. 空壓機HA-1 1臺
4. 分子泵組/DM或/OD:1臺
編號 | 產(chǎn)品型號 | 爐膛尺寸(mm) | 加熱功率(kw) | 真空度(Pa) | 最高溫度(℃) | 加熱元件 | 適用工藝 | 外形尺寸(mm) |
V2GR20 | VHSgr-20/20/30-2000 | 200x200x300 | 45 | 6.7X10-3 | 2000 | 石墨電阻 | 燒結(jié)/退火/脫脂/氫氣 | 1560×1690×1850 |
V2GR23 | VHSgr-20/20/30-2300 | 200x200x300 | 50 | 6.7X10-3 | 2300 | 石墨電阻 | 燒結(jié)/退火/脫脂/氫氣 | 1560×1690×1850 |
V2MO13 | VHSmo-20/20/30-1300 | 200x200x300 | 40 | 6.7X10-3 | 1300 | 鉬帶電阻 | 燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣/脫氣 | 1560×1690×1850 |
V2MO16 | VHSmo-20/20/30-1600 | 200x200x300 | 45 | 6.7X10-3 | 1600 | 鉬帶電阻 | 燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣/脫氣 | 1560×1690×1850 |
V2W20 | VHSw-20/20/30-2000 | 200x200x300 | 45 | 6.7X10-3 | 2000 | 鎢帶電阻 | 燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣 | 1560×1690×1850 |
V2W23 | VHSw-20/20/30-2300 | 200x200x300 | 50 | 6.7X10-3 | 2300 | 鎢帶電阻 | 燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣 | 1560×1690×1850 |
V2CO20 | VHSco-20/20-2000 | Φ200X200 | 45 | 6.7X10-3 | 2000 | 感應(yīng)線圈 | 燒結(jié)/退火 | 1560×1690×1850 不含電源尺寸 |
V2CO23 | VHSco-20/20-2300 | Φ200X200 | 50 | 6.7X10-3 | 2300 | 感應(yīng)線圈 | 燒結(jié)/退火 | 1560×1690×1850 不含電源尺寸 |
V2MS17 | VHSms-20/20/30-1700 | 200x200x300 | 12 | 6.7X10-2 | 1700 | 硅鉬棒電阻 | 氧化/燒結(jié)/退火 | 1560×1690×1850 |
V2MO17 | VHSmo-20/20/30-1700 | 200x200x300 | 12 | 6.7X10-2 | 1700 | 鉬棒電阻 | 還原/燒結(jié)/退火 | 1560×1690×1850 |
以上所展示的信息由企業(yè)自行提供,內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé),化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
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