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VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒爐
  • 暫無

    產(chǎn)地
  • 上海上海市

    所在地區(qū)
  • 2024-11-15 09:00

    更新時間
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產(chǎn)品詳細(xì)

VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒

V2MS17技術(shù)方案書

一、                      主要用途

VHSms-20/20/30-1700真空硅鉬棒爐為氣體保護(hù)多用途爐,可滿足在還原氣體或成型氣體氣氛中對藍(lán)寶石退火,還原、燒結(jié)和表面處理等工藝需要,廣泛應(yīng)用于航空航天、金屬材料、粉末冶金、陶瓷產(chǎn)品、半導(dǎo)體器件、厚膜電路、磁性材料等領(lǐng)域。

1.                      用于晶片的還原氣氛下保護(hù)燒結(jié);

2.                      用于一些難熔金屬在還原氣氛保護(hù)下燒結(jié);                                                                

3.                      用于在真空高溫環(huán)境中有蒸發(fā)的材料釬焊;

4.                      用于粉末材料還原燒結(jié)成型;                                                                            

5.                      可滿足藍(lán)寶石退火需要。

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(設(shè)備圖示,以實際出貨產(chǎn)品為準(zhǔn))

二、                      主要特點

1.                      具備完善的報警功能,更的安全連鎖保護(hù)系統(tǒng);                                            

2.                      完善的氣氛控制系統(tǒng),滿足各種工藝需要;      

3.                      高性能優(yōu)質(zhì)電氣元件保證設(shè)備長期運行的穩(wěn)定可靠性;                                          

4.                      低負(fù)荷加熱器,可有效提高設(shè)備的使用壽命;

三、                      設(shè)備型號

本設(shè)備為臥式周期式真空氣氛爐,型號為VHSms-20/20/30-1700V2MS17,其具體代碼含義如下圖所示。

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四、                      主要技術(shù)參數(shù)

1.       額定加熱功率:        9KW(以實際為準(zhǔn))

2.       最高溫度            1700(設(shè)計溫度)

3.       長期工作溫度:        1600(驗收溫度)

4.       加熱元件:                        硅鉬棒

5.       控溫精度:                        充氣±2;穩(wěn)定±1

6.       爐膛尺寸        200×200×300mmW×H×D

7.       冷態(tài)極限真空度:        6.7X10-1Pa(空爐并經(jīng)凈化)

8.       測溫傳感器:                B型熱電偶

9.       冷卻方式            充氣自然冷卻

10.       保護(hù)氣氛            氮氣或氬氣,一路氣氛

11.       氣氛壓力:                        0.02MPa(微正壓、表壓)

12.       混氣系統(tǒng):               1通道浮子流量計供氣系,浮子流量計0-10L/min

13.       控制方式            /自動自由切換

五、                      設(shè)備采用的標(biāo)準(zhǔn)

設(shè)計和制造采用的主要標(biāo)準(zhǔn)如下:

1.                      GB6654-1996 壓力容器的鋼性選用

2.                      GB10067.1-88 電熱設(shè)備的基本技術(shù)條件

3.                      GB5959.1-88 電熱設(shè)備的安全

4.                      GB10066.1-88 電熱設(shè)備的試驗方法

其它有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)參照工業(yè)爐設(shè)計手冊。

六、                      結(jié)構(gòu)組成

本設(shè)備由爐體、爐門、加熱與保溫系統(tǒng)真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、溫度及電氣控制系統(tǒng)安全系統(tǒng)等組成。

七、                      設(shè)備結(jié)構(gòu)特征

1.                      爐體

爐體為雙層殼體臥式結(jié)構(gòu),內(nèi)304不銹鋼,并經(jīng)仔細(xì)的拋光,表面光滑,有利于縮短抽氣時間,且便于清潔。雙層殼體之間通水冷卻確保爐壁溫度低于55。爐體及其接管內(nèi)表面拋光后均經(jīng)過嚴(yán)格的水壓及氣壓試驗,以確保焊縫質(zhì)量而不發(fā)生滲漏,真空室經(jīng)過嚴(yán)格的真空極限及真空漏率測試。

爐體側(cè)部設(shè)有真空抽氣口、熱電偶測溫口、進(jìn)出口、電極口等。爐體上壓頭的密封采用可靠的金屬波紋管密封。

附屬品:        

1)       真空接管

2)       電極引入接管

3)       熱電偶引入接管

4)       真空測量及真空指示接管

5)       冷卻水接管

6)       爐腿

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2.                      

爐門采用雙層水冷結(jié)構(gòu),內(nèi)304不銹鋼經(jīng)精密拋光處理,內(nèi)外壁之間通水冷卻,爐門側(cè)部設(shè)有進(jìn)出水口等。

3.                      加熱與保溫系統(tǒng)

爐襯采用復(fù)合爐襯,內(nèi)側(cè)耐火爐襯選用多孔氧化鋁砌筑,外層選用氧化鋁纖維板及硅酸鋁纖維棉組成復(fù)合保溫爐襯,合理的卡槽式拼裝結(jié)構(gòu),能有效保證爐膛的牢固性、溫度的損耗;合理的加熱器對輻射排布及功率的分布都有效的保證溫場的均勻度,此種結(jié)構(gòu)保溫效果好,爐墻使用壽命長。

加熱系統(tǒng)由電力控制器、電極、發(fā)熱體、熱電偶等組成。

1)加熱功率及分布

采用單區(qū)加熱控溫,安裝一支控制熱電偶,加熱爐的發(fā)熱體采用硅鉬棒,發(fā)熱元件均勻布置于爐膛兩側(cè),有效的保證了溫場的均勻性提高加熱系統(tǒng)的可靠性,安全性。

2)測溫裝置

測溫元件采用B型熱電偶配合溫度控制儀進(jìn)行溫度閉環(huán)控制,測溫元件測量溫度并供給溫度控制器控制信號,從而調(diào)整功率調(diào)控器的輸出,從而控制變壓器的輸出大小滿足系統(tǒng)的控溫需求。此外,在保溫屏外側(cè),設(shè)有監(jiān)測熱電偶,當(dāng)系統(tǒng)超溫時,通過控制系統(tǒng)及時切斷加熱電源,確保設(shè)備安全

4.                      真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)由直聯(lián)泵、擴散泵、氣動高真空閥、真空變送器、真空壓力表、真空放氣閥、真空管路等組成,并留有充氣接口。為減少爐體振動,真空管道與泵的連接采用金屬波紋管,真空真空變送器測量。

真空閥門設(shè)掉電保護(hù)和安全聯(lián)鎖,如設(shè)備突然斷電,真空系統(tǒng)的各系統(tǒng)閥門自動調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài),保護(hù)真空室。

所有真空管路均采用不銹鋼或碳鋼電鍍制造。管路連接處采用金屬波紋管連接,以隔絕直聯(lián)泵的震動,防止將震動傳遞至真空加熱室系統(tǒng)。

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5.                      氣路系統(tǒng)

氣體系統(tǒng)主要完成運氣、排氣等動作。氣路控制均采用安全電磁閥、手動針閥控制,采用電子式數(shù)顯壓力表,對爐膛壓力能時時監(jiān)控,當(dāng)?shù)竭_(dá)壓力會自動關(guān)閉進(jìn)氣管上的電磁閥,并進(jìn)行報警,使用安全性更高。氣體系統(tǒng)增加故障時自動放氣和手動放氣的選擇功能,解決用戶特殊情況下的斷電排氣問題。

集成式的氣路、電路控制面板,讓客戶操作更加方便;所有進(jìn)氣口全部經(jīng)過短暫預(yù)熱直接進(jìn)入爐膛使用區(qū)域,以便保護(hù)氣氛能最快、全面的接觸工件(可以通氬氣、氮氣等惰性氣體);爐體后部有二路進(jìn)氣口,右側(cè)有二路排氣口(排放氣體密度大于空氣密度的保護(hù)氣氛氣體、也可作為緊急時破除真空用接口)。

本設(shè)備壓力系統(tǒng)由氣源裝置(氣瓶用戶自備)、閥門站、控制氣路、超高壓管路等組成。其作用是根據(jù)工藝要求,向工作缸提供高壓氣體。

6.                      水冷系統(tǒng)

系統(tǒng)由集成式進(jìn)水組件(不銹鋼管)、集成式回水組件(不銹鋼管)、球閥、優(yōu)質(zhì)橡膠管及接頭等組成。回水方式采用封閉式,在關(guān)鍵回路如電極上設(shè)置了水溫水流量傳感器,水溫過高或水流量不足時及時報警并停止加熱。

進(jìn)水主管路上設(shè)有電接點壓力表,當(dāng)水壓不足時提供信號給控制系統(tǒng),然后由控制系統(tǒng)判斷報警,啟動備用水源系統(tǒng)或切斷電源。設(shè)備的備用水裝置由客戶自備,備用水流5m3/h。

水路特點:

1)                      所有水路管道均采用耐高溫、高壓軟管材質(zhì),確保不生銹;其他輔助水路管道采用高壓防爆管道。確保水路安全;

2)                      關(guān)鍵管路設(shè)置有水流量傳感器和水溫傳感器和報警裝置,水流量過低報警,水超溫報警,及時發(fā)現(xiàn)安全隱患。進(jìn)水路欠水壓與加PLC互鎖,水壓低時,報警并停止加熱。

3)                      使用方須做好備用水源UPS電源。主電路停電可立即切換UPS電源,給水泵供電,冷卻水源循環(huán),確保爐體安全。

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7.                      氣動系統(tǒng)(需選配空壓機

由氣動三聯(lián)件(除水器、壓力表、油霧器)、電磁換向閥,管道和產(chǎn)氣量0.6m3/min的空壓機(可選配)等組成??蓪鈩訄?zhí)行元件(如氣缸、充氣閥、真空閥門等)提供潔凈的壓縮空氣,確保氣動原件運行穩(wěn)定可靠,管路走向整潔美觀。

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8.                      溫度及電氣控制系統(tǒng)

電氣控制系統(tǒng):全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),可以手動、自動切換。

電源控制系統(tǒng)軟件介紹: 有以下特點:

1)       源控制具有手動和自動兩種控制方式,手動和自動都可以在觸摸屏上控制,操作方便、系統(tǒng)穩(wěn)定,具有誤操作提示報警功能。

2)       溫控系統(tǒng):全自動 PLC+觸摸屏系統(tǒng),可以手動、自動切換,采用熱電偶和控溫儀表控制電源的輸出從而控制模具的溫度,觸摸電腦自動記錄燒結(jié)過程及歷史曲線。配備 PLC 控制器(西門/歐姆龍),具有 PID 及超溫報警功能,能儲存和輸出記錄,清晰反應(yīng)爐子工作狀況。

3)       控制系統(tǒng)軟件由我公司自行開發(fā),人機界面操作系統(tǒng),畫面友好,操作簡單,響應(yīng)速度快,可對爐內(nèi)工況進(jìn)行實時監(jiān)測,系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。

4)       本設(shè)備可自動采集溫度曲線、真空度曲線和燒結(jié)時間等曲線,對各個工藝參數(shù)(溫度、真空度)實現(xiàn)動態(tài)顯示,方便用戶根據(jù)歷史曲線分析燒結(jié)工藝。

5)       通訊接口豐富,如 RS485、LAN、USB 等,易于和其它設(shè)備 組網(wǎng)應(yīng)用。軟件控制界面形象化,能夠動態(tài)顯示工作流程,方便直觀。

6)       控制系統(tǒng)上設(shè)有過流、超溫及斷水等分類報警功能,電器元件采用施耐德、 LG等品牌,產(chǎn)品品質(zhì)有保證。電控柜按照西門子標(biāo)準(zhǔn)制作,所有的儀表及控制元件集中到一個電控柜內(nèi)。

7)       軟件免費升級。

溫度的控制也可通過數(shù)顯溫度程序控制儀根據(jù)用戶設(shè)定的工藝曲線,實行自動控制溫度,并具PID自整定功能,也可根據(jù)用戶需要手動控制溫度。

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八、                      安全保護(hù)系統(tǒng)

1.                      電氣聯(lián)鎖保護(hù)系統(tǒng);

2.                      保險絲;

3.                      電熱過電流保護(hù)裝置。

九、                      整機要求

1.                      電力需求     220V/380V,三相五線制,12KVA,50Hz

2.                      起重設(shè)備     1.2

3.                      壓縮空氣氣源

1)                      耗量     ~3L/s

2)                      壓力     0.6Mpa

4.                      水源:

1)                      耗量      10m3/h

2)                      水壓      0.15~0.3Mpa

3)                      進(jìn)水水溫 25

4)                      水質(zhì)      PH7.08.5,懸浮物固體100mg/L,總硬CaO10mg當(dāng)/L,溶解性固體30mg/L,電導(dǎo)率500μS/cm;及總排水管與設(shè)備的連接管路和閥門;

十、                      安裝、調(diào)試及驗收

1.                      甲方負(fù)責(zé)地基、氣源、乙方電控柜的總線輸入端之前的進(jìn)線電纜。在所有準(zhǔn)備工作完成后,通知乙方進(jìn)行安裝、調(diào)試。設(shè)備以賣方組織,買方配合的方式在買方現(xiàn)場安裝、調(diào)試并達(dá)到買方正常使用的要求;

2.                      驗收工作完成后,由雙方共同簽署設(shè)備最終驗收報告。

十一、                      培訓(xùn)

1.                      設(shè)備安裝調(diào)試過程中,賣方同時對買方設(shè)備使用人員進(jìn)行必要的操作和維護(hù)保養(yǎng)的培訓(xùn)。經(jīng)培訓(xùn),用戶技術(shù)人員能夠達(dá)到獨立正確操作設(shè)備并能判斷故障及簡單維修。

2.                      培訓(xùn)計劃和內(nèi)容:

序號

培訓(xùn)計劃

培訓(xùn)時間(天)

培訓(xùn)人員

地點

1

操作培訓(xùn)

1

工程1

驗收現(xiàn)場

2

維護(hù)保養(yǎng)培訓(xùn)

驗收現(xiàn)場

3

故障判斷及簡單維修培訓(xùn)

驗收現(xiàn)場







十二、                      保固期

機器全系統(tǒng)保固壹年。

十三、                      售后

保固期內(nèi),若設(shè)備發(fā)生故障(易損件除外),我公司2小時內(nèi)給予回復(fù),并72小時內(nèi)派員到達(dá)現(xiàn)場,組織維修。

長期優(yōu)惠提供備品備件。

十四、                      隨機資料

1.                      操作說明書。

2.                      出廠檢驗報告。

3.                      安裝調(diào)試必需的圖紙。

十五、                      客戶選配配件

1.                      冷水HCA-10      1

2.                      水路管道及法蘭   1

3.                      空壓HA-1        1

4.                      分子泵/DM/OD1

編號

產(chǎn)品型號

爐膛尺寸(mm)

加熱功率(kw)

真空度(Pa)

最高溫度()

加熱元件

適用工藝

外形尺寸(mm)

V2GR20

VHSgr-20/20/30-2000

200x200x300

45

6.7X10-3

2000

石墨電阻

燒結(jié)/退火/脫脂/氫氣

1560×1690×1850

V2GR23

VHSgr-20/20/30-2300

200x200x300

50

6.7X10-3

2300

石墨電阻

燒結(jié)/退火/脫脂/氫氣

1560×1690×1850

V2MO13

VHSmo-20/20/30-1300

200x200x300

40

6.7X10-3

1300

鉬帶電阻

燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣/脫氣

1560×1690×1850

V2MO16

VHSmo-20/20/30-1600

200x200x300

45

6.7X10-3

1600

鉬帶電阻

燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣/脫氣

1560×1690×1850

V2W20

VHSw-20/20/30-2000

200x200x300

45

6.7X10-3

2000

鎢帶電阻

燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣

1560×1690×1850

V2W23

VHSw-20/20/30-2300

200x200x300

50

6.7X10-3

2300

鎢帶電阻

燒結(jié)/退火/釬焊/脫脂/氫氣

1560×1690×1850

V2CO20

VHSco-20/20-2000

Φ200X200

45

6.7X10-3

2000

感應(yīng)線圈

燒結(jié)/退火

1560×1690×1850

不含電源尺寸

V2CO23

VHSco-20/20-2300

Φ200X200

50

6.7X10-3

2300

感應(yīng)線圈

燒結(jié)/退火

1560×1690×1850

不含電源尺寸

V2MS17

VHSms-20/20/30-1700

200x200x300

12

6.7X10-2

1700

硅鉬棒電阻

氧化/燒結(jié)/退火

1560×1690×1850

V2MO17

VHSmo-20/20/30-1700

200x200x300

12

6.7X10-2

1700

鉬棒電阻

還原/燒結(jié)/退火

1560×1690×1850






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